箱式石英退火爐是一種在材料科學、半導體工程和陶瓷工藝中常用的設備,特别是在對(duì)石英、玻璃和晶體進行高溫熱處理時。"箱式"指的是爐子的結構,通常是一個有蓋的箱形空間,可以打開和關閉以便放入或取出樣品。石英退火爐通常使用電阻加熱元件來加熱爐内的空間。
退火是一種熱處理過程,通過加熱材料至一定溫度,保持這個溫度足夠時間後,再讓其緩慢冷卻,以此來減少材料内部(bù)的應力、改善它的微觀結構、提(tí)高化學均勻性、增強材料的機械性能和穩定性。石英退火爐特别适合用于對(duì)石英玻璃和石英基材料的退火,因爲它們在高溫下需要一定的氛圍控制(如氧化或還原氣氛)以防止材料變質。
箱式石英退火爐通常配備高精度溫度控制系統和程序控制,以确(què)保熱處理過程連續且可重(zhòng)複。這對(duì)于需要高精度的溫度控制和均勻的熱分布,比如在半導體行業中,退火對(duì)改善晶體管和集成電路的特性至關重(zhòng)要。
此類爐子可以設計爲在不同的氣氛下工作,如真空、惰性氣體、還原性或氧化性氣氛等,以适應各種不同的材料處理需求。高純度石英材料的使用則能承受高溫,并保證處理過程中的材料不被雜質污染。